Textüberschrift
Typische Messungen:
- SE Bilder (SEM)
- Elementverteilungsbilder (MAP)
- Punktanalysen, Spektrum (SPE)
- Linienanalysen (LIN)
- Tiefenprofilierung (PRO)
Anwendungen:
- in-Situ-Bruchflächen (im UHV sind Brüche unterschiedlicher Probeformen möglich)
- Oberflächen und Matrix, Grenzflächen und Schichtübergänge, Diffusionscharakterisierung
- Stähle, Legierungen, Hartstoffe, Hartmetalle, Supraleiter, Viellagenschichten,
- Makro-, Mikro- bis Nanosysteme wie z.B. Formeinsätze, Sensoren, Stents, Mikroreaktoren, Halbleitersyteme etc.
Elemente:
Lithium bis Uran
Auflösungsvermögen:
Elektronenstrahldurchmesser 24 nm (bei 20 kV und 10 nA)
Tiefenauflösung 0,5 bis 5 nm (abhängig von der Energie des Augerelektrons)
Energieauflösung 0,5 bis 0,1 %
Nachweisvermögen:
qualitativ und halbquantitativ, ab einem Gehalt von > 0,1 bis 5 Atom% (elementabhängig)
quantitativ (nur unter Verwendung von Standardproben möglich!)
Messmöglichkeiten:
Linien-, Punktanalysen und Elementverteilung über die Fläche von ∅ > 24 nm bis µm und durch Ionenabtrag in die Tiefe von 1 nm bis 1 µm.
Materialien:
elektrisch leitende und halbleitende Feststoffe und Schichten
Limitierende Probeneigenschaften:
- maximale Probengröße 60 mm Durchmesser
- maximale Probenhöhe 14 mm (standardmäßig) bis 24 mm (mit Einschränkungen)
- Proben müssen fest bzw. stabil unter Vakuum- bedingungen sein (10-7 Pa)
- Proben müssen elektronenstrahlstabil sein
SPE
Auger-Spektren sind die Basis aller Auger-Analysen. Sie zeigen die Intensität der Augerelektronensignale über der jeweiligen Elektronenenergie in [eV]. Bei einer Punktanalyse werden die Daten an einem feststehenden Punkt, welcher durch den anregenden Elektronenstrahl fixiert wird gesammelt. Wenn man den Elektronenstrahl über einen definierten Bereich während der Messung scannen lässt, spricht man von einer Bereichsanalyse oder von einem „Area“.
