Quality assurance and metrology

  • Autor:

    L. Mattsson, V. Schulze, J. Schneider
  • Quelle:

    Ceramics Processing in Microtechnology,
    Hrsg. H.-J. Ritzhaupt-Kleissl, P. Johander, Whittles Publishing, Dunbeath,
    Seiten 305-325 (2009)