Auger-Spektren sind die Basis aller Auger-Analysen. Sie zeigen die Intensität der Augerelektronensignale über der jeweiligen Elektronenenergie in [eV]. Bei einer Punktanalyse werden die Daten an einem feststehenden Punkt, welcher durch den anregenden Elektronenstrahl fixiert wird gesammelt. Wenn man den Elektronenstrahl über einen definierten Bereich während der Messung scannen lässt, spricht man von einer Bereichsanalyse oder von einem „Area“.