Bei der Linienmessung werden zuvor gewählte Elemente oder Energiebereiche an einer definierten Zahl von Punkten entlang einer Linie, die horizontal oder vertikal über das SE-Bild verläuft, gemessen. So erhält man am Ende ein Diagramm in dem die Elementintensitätsverläufe entlang dieser Linie dargestellt sind. Es wird dann meist nur von einer „Line“ gesprochen.