Für die Tiefenprofilierung wird in unserem Labor eine Ar+ Ionenkanone verwendet. Damit lassen sich ganz unterschiedliche Abtragsraten erzielen. Die Ionenkanone wird bei uns für die Profil-Erstellung zumeist im Intervallmodus betrieben. Bei jedem Intervall wird eine bestimmte Materialmenge von der Probenoberfläche entfernt. Und immer in den Sputter-Pausen werden die Daten gesammelt. Alle Messmodi (SPE als Area- oder Punkt-Messung, LIN und MAP) können somit nicht nur an der Probenoberfläche der Probe sondern auch in die Tiefe hinein angewendet werden.